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              程控精密勻膠機

              簡要描述:HC160PE 程控精密勻膠機是一種既可用于精密勻膠操作,又可用于半導體顯影和清洗的臺面式設(shè)備,它可以實現(xiàn)價值百萬美元設(shè)備(track)的上才可能達到穩(wěn)定性和均勻性

              • 產(chǎn)品型號:HC160PE
              • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
              • 更新時間:2024-12-16
              • 訪  問  量:4839

              詳細介紹

              可編程精密勻膠機

              型號:HC160PE

                 

                  HC160PE程控精密勻膠機,采用高級PLC 全自動程序控制,轉(zhuǎn)速精度高,穩(wěn)定性好。可用于微電子、半導體、新能源、生物材料、納米材料等領(lǐng)域高精度薄膜涂層的制備。

              特點:

              l  設(shè)計緊湊,可放置在手套箱內(nèi);

              l  4.3英寸彩色觸屏控制,人機界面;

              l  不銹鋼外殼,美觀耐腐蝕;

              l  經(jīng)CNC一體加工成型的HDPE內(nèi)腔,耐腐蝕,易清潔,帶排廢功能;

              l  內(nèi)腔壁采用*的凹面設(shè)計,有效防濺;

              l  高級PLC全自動程序控制,可編程;

              l  帶真空度安全互鎖檢測功能;

              l  帶蓋子安全互鎖檢測功能;

              l  帶排廢接口;

              l  配置一個自動點膠接口,可升級自動點膠系統(tǒng);

              l  可設(shè)置用戶密碼保護功能;

              l  配置可調(diào)基座,方便調(diào)節(jié)水平;

              技術(shù)參數(shù):

              l  適用晶元尺寸范圍:?10~160mm

              l  旋涂速度:100~12000rpm

              l  轉(zhuǎn)速分辨率:1rpm

              l  旋涂加速度:100-30000rpm/s

              l  旋涂時間:3000s

              l  旋涂時間精度:0.1s

              l  內(nèi)腔直徑220mm,內(nèi)腔壁采用*的凹面防濺設(shè)計;

              l  具備單步快速旋涂和多步編程旋涂,可編程100組程序,每組程序10步;

              l  電源輸入:AC200-230V

              設(shè)備外形尺寸:XX高:310X254X250mm

              HC160PE程控精密勻膠機

              HC160PE程控精密勻膠機



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